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超精切削中刀具和被加工材料间的摩擦直接影响切削变形和加工表面质量。金刚石晶体具有明显的各向异性,我们实测了金刚石的摩擦系数,其值为0.06~0.14,随晶面不同和方向不同而异。通过实际的超精切削验证,金刚石刀具采用摩擦系数小的(100)晶面作前面和后面,较常用的(110)晶面可降低切削变形和提高加工表面质量。