【摘 要】
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抗高温变形石英玻璃是电子工业,特别是生产大规模集成电路不可缺少的关键配套材料。该产品可在,1280℃的高温下长期使用,使用温度比普通气炼石英玻璃提高,130℃,使用寿命延长
【机 构】
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中国建筑材料科学研究院石英所; 中国建筑材料科学研究院石英所;
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抗高温变形石英玻璃是电子工业,特别是生产大规模集成电路不可缺少的关键配套材料。该产品可在,1280℃的高温下长期使用,使用温度比普通气炼石英玻璃提高,130℃,使用寿命延长1倍以上。其原理是在石英玻璃表面施以细分散氧化铝涂层,作为晶核剂,使石英玻璃表面形成微晶层,起骨架作用,从而达到抗高温形变的目的本文介绍了抗高温形变石英玻璃的制备过程和测试结果。并分析探讨了抗高温形变的原理,析晶特性以及应力的产生和消除方法等问题。
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