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在大数值孔径、短波长的投影光学光刻系统中,对S偏振光、P偏振光和非偏振光在硅片上的成像进行了研究,发现S偏振光成像具有最高的光强对数斜率值和最大的对比度;模拟了S偏振光通过掩模的电场分布机理,结果表明,可以通过调制照明光的偏振性来提高成像对比度和分辨力.
超微细光刻中偏振光成像研究
【摘 要】
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在大数值孔径、短波长的投影光学光刻系统中,对S偏振光、P偏振光和非偏振光在硅片上的成像进行了研究,发现S偏振光成像具有最高的光强对数斜率值和最大的对比度;模拟了S偏振
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
：
光电工程
【发表日期】
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2003年5期
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