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在微电子机械系统技术飞速发展的今天,由于ＭＥＭＳ(Ｍｉｃｒｏ-Ｅｌｅｃｔｒｏ-Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ-Ｓｙｓｔｅｍ)器件在国防和民用领域有着广泛的应用前景,ＭＥＭＳ研究已成为世界上发达国家高科技发展的重点方向之一。近年来我国政府对ＭＥＭＳ研究非常重视,在政府的...
应用CAD技术加速我国MEMS技术的发展
【摘 要】
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在微电子机械系统技术飞速发展的今天,由于ＭＥＭＳ(Ｍｉｃｒｏ-Ｅｌｅｃｔｒｏ-Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ-Ｓｙｓｔｅｍ)器件在国防和民用领域有着广泛的应用前景,ＭＥＭＳ研究已成为世界上发达国家高科技发展的重点方向之一。近年来我国政府对ＭＥＭＳ研究非常重
【机 构】
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哈尔滨工业大学MEMS中心
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1999年5期
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