应用于微波/毫米波领域的集成无源器件硅基转接板技术

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chad
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
展示了一种应用于射频微系统领域的可以集成射频无源器件的硅基转接板结构。该结构将电感、电容、电阻、传输线和TSV等集成在适用于微波应用的高阻硅衬底上,可实现芯片级的CMOS、MMIC及MEMS多种不同材料器件集成。采用这种方法制备的传输线损耗在40 GHz为0.34 dB/mm,电容密度达到1.05 fF/μm~2,2.5圈8 n H电感最大Q值在1.5 GHz达到16。这项制造技术与CMOS制造工艺兼容,可为超高集成度的三维集成型化射频微系统提供有力支撑。
其他文献
得00后者,得天下。随着Z世代成年,00后成了主流消费人群,吸引他们的目光,被视作互联网平台挖掘新流量生态的机会。成立于2016年的泛二次元创作社区触漫,通过提供编辑器和素材
肝衰竭作为一种较为常见的临床证候群,目前临床上尚未特效治疗方法,以综合治疗为主,其中人工肝支持治疗为重要治疗方法。人工肝血浆置换术作为人工肝支持治疗常用方法,在实际
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”$ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’#陈川个美食 Back to yield
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”$ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’#陈川个美食 Back to yield
目的通过观察错配修复基因hMSH2在膀胱移行细胞癌中的表达,探讨hMSH2与膀胱移行细胞癌的关系。方法通过免疫组化方法测定hMSH2在80例膀胱移行细胞癌中及20例正常膀胱组织中的
目的探讨阿魏酸钠和依帕司他联合治疗糖尿病周围神经病变(DPN)的疗效。方法将52例DPN患者随机分为治疗组(26例)和对照组(26例),治疗组给予阿魏酸钠和依帕司他联合治疗,对照组单用依
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”$ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’#陈川个美食 Back to yield