【摘 要】
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制作了带有栅终端场板结构的GaN基HEMT，研究了击穿电压与场板长度的关系，提取了最佳场板长度为0．4，0．5，0．6μm时所对应的栅漏击穿电压最大，为120V。研究了栅终端场板对器件小信号特性
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制作了带有栅终端场板结构的GaN基HEMT，研究了击穿电压与场板长度的关系，提取了最佳场板长度为0．4，0．5，0．6μm时所对应的栅漏击穿电压最大，为120V。研究了栅终端场板对器件小信号特性和大信号的影响，栅终端场板长度0．4gm时，器件特征频率及最大振荡频率减小量最小。在栅宽1mm、频率8GHz、无场板器件最大工作电压28V时，连续波输出功率3．2w，功率增益4．0dB，功率附加效率17．0％；栅终端场板器件最大工作电压38V时，连续波输出功率5．1W，功率增益4．1dB，功率附加效率21．0％。
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