【摘 要】
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亚表面损伤的精确表征有助于全面掌握光学元件研磨后的亚表面损伤特征,是确定后续抛光时间和加工程序、提高研磨加工效率的切实依据.该文首先从目前比较常见的几种亚表面损伤
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亚表面损伤的精确表征有助于全面掌握光学元件研磨后的亚表面损伤特征,是确定后续抛光时间和加工程序、提高研磨加工效率的切实依据.该文首先从目前比较常见的几种亚表面损伤测试技术出发,简要阐述各种测试技术的实验原理,综合实验结果分析了各种方法对亚表面损伤表征的研究状况,并对截面法在K9光学玻璃亚表面损伤方面的应用进行了实验对比研究,对比分析了研磨粒径与裂纹最大深度间的关系.
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