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CMOS图像传感器作为高速相机中核心组件,是现今国防、医学和工业等领域研究的重点。本文针对典型CMOS图像传感器玻璃盖板应力问题展开研究,通过ANSYS有限元仿真建模的方法,对CMOS图像传感器进行振动应力、冲击仿真。通过分析仿真结果,得出在机械载荷下器件表面玻璃盖板受力集中,之后通过试验对仿真结果进行验证并提出改进建议。为器件工艺改进提供指导,加速推进CMOS图像传感器可靠性提升。