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纳米CeO2颗粒的制备及其化学机械抛光性能研究

来源 :摩擦学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：nbu_james

【作 者】

：

李霞章 陈杨 陈志刚 陈建清 倪超英

【出 处】

：

摩擦学学报

【发表日期】

：

2007年01期

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