【摘 要】
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提出了采用光学相干显微术测量散射介质内层形貌的方法，该方法基于低相干术和共焦显微术，其纵向测试精度是由共焦门与相干门共同决定的，能有效地排除非焦面处的杂散光的影响。通
【机 构】
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西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,空军工程大学电子工程系
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提出了采用光学相干显微术测量散射介质内层形貌的方法，该方法基于低相干术和共焦显微术，其纵向测试精度是由共焦门与相干门共同决定的，能有效地排除非焦面处的杂散光的影响。通过对样品内层的三维扫描，测量样品的不同点的厚度，最终透过表面层得到了样品的内层形貌，实际实验中的轴向分辨率约为5μm，横向分辨率约为1．2μm。该方法对样品无破坏作用，能有效地测量散射样品内层形貌，且具有测试精度高、工作可靠的特点。
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