【摘 要】
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<正>对于板式PECVD设备而言,由于现有产线是针对M2硅片设计的,因此该类设备的宽度余量有限,而增大硅片的尺寸必定会减小单个载板的硅片数量。表10为目前占据主流市场的Meryer
【机 构】
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中国可再生能源学会光伏专业委员会;
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<正>对于板式PECVD设备而言,由于现有产线是针对M2硅片设计的,因此该类设备的宽度余量有限,而增大硅片的尺寸必定会减小单个载板的硅片数量。表10为目前占据主流市场的Meryer Burger公司的板式PECVD设备的参数。从中可以看出,其载板放置硅片片数为6行6列,采用边长为156.75 mm的M2硅片,不算边缘的硅片,载板总宽度为904.5 mm;若采用边长为166 mm的硅片,载板总宽度将会达到966 mm,
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