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用化学气相沉积法生长金刚石膜，在此膜上制作紫外光电探测器，并作了性能测试。该器件是叉指式电极结构，可以减小电极间隙，减少光激发载流子的损失，提高器件的响应灵敏度。表面处理可除去金刚石膜的低电阻表面层，提高器件对紫外光的探测性能。测试表明，用金刚石制作的器件对波长小于２２５ｎｍ的紫外光的响应比可见光高４个量级。