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<正> 前 言 键合金丝是集成电路的内引线材料,其性能的优劣直接影响了集成电路的质量。研究这种材料的组织状态与性能的关系是使其生产、使用自动化的必要途径。然而,键合金线的直径通常在φ20～60μm之间,这使得透射电镜薄膜样品的制备非常困难。本文就此薄膜样品的制备进行了研究。
键合金线透射电镜样品制备方法
【摘 要】
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<正> 前 言 键合金丝是集成电路的内引线材料,其性能的优劣直接影响了集成电路的质量。研究这种材料的组织状态与性能的关系是使其生产、使用自动化的必要途径。然而,键合金
【机 构】
：
机电部第46研究所,机电部第46研究所天津300192,天津300192,天津300192
【出 处】
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物理测试
【发表日期】
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1994年4期
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