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无机保护用硅晶闸管的研究
无机保护用硅晶闸管的研究
来源 :西安交通大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:swordhero
【摘 要】
:
研究了直流溅射造成硅器件性能劣化的原因,探讨了用液相钝化预处理能提高溅射合格率的机理,提出了避免劣化的方法.试验证明,液相钝化多孔硅加溅射含氧非晶硅(a-si:o)所形成的复合膜是用于
【作 者】
:
张德贤
王富珍
【机 构】
:
西安交通大学,永济电机厂
【出 处】
:
西安交通大学学报
【发表日期】
:
1996年2期
【关键词】
:
表面
保护
硅晶闸管
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研究了直流溅射造成硅器件性能劣化的原因,探讨了用液相钝化预处理能提高溅射合格率的机理,提出了避免劣化的方法.试验证明,液相钝化多孔硅加溅射含氧非晶硅(a-si:o)所形成的复合膜是用于硅晶闸管表面保护的较好的无机材料更多还原
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