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对槽线密度为79线·mm-1的中阶梯光栅铝膜进行了深度3μm的纳米压痕试验，并采用有限元模拟结合正交分析的方法对其进行计算和分析，得到初步优化的参数组合，最后通过迭代优化求解最优组合。结果表明：中阶梯光栅铝膜的平均弹性模量为85．7GPa，最优测试参数组合为屈服应力134MPa和应变硬化指数0．09；所建立的光栅压入测试有限元模型的计算准确性对屈服应力的输入较为敏感。