石英真空计的设计

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本文提出一种用特性曲线设计石英真空计的方法。实验发现,在一定的条件下,与石英晶振串接的电阻R上的电压UBC与气体压强P有一定的函数关系。这个电压UBC经过放大、检波与调节后的读数V与气体压强P的关系V-P曲线称特性曲线。实验证明该曲线具有很好的稳定性和重复性。用该曲线可以测量气体压强。 This paper presents a method of designing a quartz vacuum gauge using a characteristic curve. Experiments show that under certain conditions, the voltage on the resistor R in series with the quartz crystal UBC has a certain relationship with the gas pressure P. The voltage UBC after amplification, detection and adjustment of the reading V and gas pressure P relationship V-P curve, said the characteristic curve. Experiments show that the curve has good stability and repeatability. Use this curve to measure gas pressure.
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