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<正>纳米技术源于20世纪80年代,随着它的逐步发展和完善,纳米技术已成为21世纪最重要的科学技术之一,它将在新世纪引起一场新的工业革命,人类将必然在认识和改造自然方面进入一个前所未有的新阶段。目前,纳米科学与技术这一学科可划分为六个部分:纳米物理学、纳米化学、纳米生物学、纳米电子学、纳米机械学和纳米测量学。纳米测量技术是纳米技术的重要组成部分,它对于纳米材料的发展、纳米器件及微系统(又称微型机电系统MEMS)的研究与开发具有十分重要的意