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二氯二氢硅反歧化装置利用二氯二氢硅与四氯化硅的反歧化反应原理，可以有效地将二氯二氢硅转化成多晶硅生产原料三氯氢硅加以回收利用，降低二氯二氢硅对多晶硅生产的影响，对多晶硅生产节能降耗有着很重要的意义。
二氯二氢硅反歧化装置在多晶硅生产中的应用
【摘 要】
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二氯二氢硅反歧化装置利用二氯二氢硅与四氯化硅的反歧化反应原理，可以有效地将二氯二氢硅转化成多晶硅生产原料三氯氢硅加以回收利用，降低二氯二氢硅对多晶硅生产的影响，对多晶
【机 构】
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昆明冶研新材料股份有限公司
【出 处】
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中国化工贸易
【发表日期】
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2004年期
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