【摘 要】
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绝缘栅双极晶体管（IGBT）是新能源变频领域的核心器件[1],研发的过程中,数值仿真一直是重要的一环。为了减少研发成本、增加可靠性,本文使用Silvaco数值仿真软件,首先通过现有的
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绝缘栅双极晶体管（IGBT）是新能源变频领域的核心器件[1],研发的过程中,数值仿真一直是重要的一环。为了减少研发成本、增加可靠性,本文使用Silvaco数值仿真软件,首先通过现有的产品建立准确的IGBT物理模型,再根据模型中的参数完成了以下工作：（1）对场限环和场版复合型IGBT终端结构设计进行指导,通过改变场版宽度和场限环数量,避免了终端设计缺陷引起电场扩散过快,导致击穿电压下降的问题,实验结果和数值仿真一致;（2）对现有设计结构不同工艺进行预测,评估了工艺改变对器件性能特性变化的影响,数值仿真和失效
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