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采用超高真空电子束蒸发制备了一维紫外、可见光波段光子晶体.研究了在石英衬底上不同周期Ag/SiO2体系对光子带隙的影响.带隙位置与理论计算结果符合.发现二氧化硅层的厚度对带隙位置和银层的透过率有较大影响,厚度的增加降低了反射率,从而使光子带隙更加明显,当厚度达到12层时观察到清晰的光子带隙.
Ag—SiO2多层薄膜对光子带隙的影响
【摘 要】
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采用超高真空电子束蒸发制备了一维紫外、可见光波段光子晶体.研究了在石英衬底上不同周期Ag/SiO2体系对光子带隙的影响.带隙位置与理论计算结果符合.发现二氧化硅层的厚度对
【机 构】
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中科院上海微系统与信息技术研究所半导体薄膜工程技术中心,中科院上海微系统与信息技术研究所半导体薄膜工程技术中心
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2005年11期
【基金项目】
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the National High Technology Development Program of China，Shanghai Nanotechnology Promotion Center，上海市科委资助项目，Fore-research of basic research project，国家重点基础研究发展计划(973计划)
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