叠栅MOSFETs的结构设计与研究

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通过分析设计,提出了一种新型结构的叠栅MOSFET,它的栅电容是由两个电容混联组成,所以它有较小的栅电容和显著的抑制短沟道效应的作用。模拟软件MEDICI仿真结果验证了理论分析的预言,从而表明该结构可用作射频领域。 By analyzing and designing, a new type of stacked gate MOSFET is proposed. Its gate capacitance is composed of two capacitors, so it has smaller gate capacitance and significant short-channel effect. The simulation software MEDICI simulation results verify the theoretical analysis of the predictions, indicating that the structure can be used as RF field.
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