【摘 要】
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提高CdTe太阳电池转换效率的有效途径之一是适当减薄CdS窗口层,减薄了的CdS层会严重影响电池性能,解决方法是在窗口层和透明导电膜之间加一层高阻本征SnO2薄膜。采用反应磁控
【基金项目】
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国家高技术研究与发展计划项目（2001AA513010）,国家自然科学基金项目（60506004）,博士点基金项目（20050610024）和四川省应用基础项目（2006J13-083）资助.致谢：感谢四川大学材料学院朱居木教授做的XRD测试和四川大学分析测试中心陈红老师做的XPS测试.
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提高CdTe太阳电池转换效率的有效途径之一是适当减薄CdS窗口层,减薄了的CdS层会严重影响电池性能,解决方法是在窗口层和透明导电膜之间加一层高阻本征SnO2薄膜。采用反应磁控溅射制备了具有高阻抗的本征SnO2薄膜,并对其进行了后处理,利用XRD,XPS等方法研究了退火前后薄膜的结构,成分及表面化学状态的变化。结果表明：经N2/O2=4：1气氛550℃（0.5h）退火后,样品由非晶态转变为四方相结构的多晶薄膜,具有（110）择优取向;XPS分析表明退火后薄膜的氧含量增加、O（1s）峰向低能方向移动,SnO
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