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针对一种错位型MEMS（Micro—Electro-Mechanical Systems）可调光衰减器，基于输入输出光纤间模场的交叠积分，数值分析了径向偏差和轴向间隙同时存在的情况下，光功率衰减量与错位量和波长的关系．演示了利用闭环反馈控制系统提高器件响应线性度的显著效果．研制出样机并测量得到器件的响应时间（约1．5ms），动态范围（约35dB），波长相关损耗（〈20．4dB），偏振相关损耗（〈0．1dB）等关键性能参量．