微电子封装中热超声金丝球键合过程的组织及织构

来源 :中国体视学与图像分析 | 被引量 : 0次 | 上传用户:c1074527
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利用EBSD取向成像技术测定了拉拔金丝及热超声金丝球键合的组织及织构。结果表明,冷拔后金丝的主要织构为〈111〉和〈100〉丝织构;键合前金丝球中心区域仍保持原来的〈100〉取向,且这种取向可保留到一次键合后的样品中心;水平方向的热超声振动使一次键合后界面处形成一层水平长条晶粒;键合时输入功率过大会造成再结晶及异常长大。 EBSD orientation imaging technique was used to determine the microstructure and textures of drawn gold wires and thermosonic gold wires. The results show that the main texture of the gold wire after cold drawing is the <111> and <100> silk texture. The center of the gold wire before the bonding remains the original <100> orientation, and this orientation can be retained to the primary bond After the combined sample center; the horizontal direction of the ultrasonic vibration so that the primary interface after the formation of a layer of horizontal long grain; bonding input power is too large will cause recrystallization and abnormal growth.
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