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期刊论文
微电子技术在微机械制造中的应用
微电子技术在微机械制造中的应用
来源 :上海微电子技术和应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:baihuiguo
【摘 要】
:
微电子技术的飞速发展,为微机械系统的制造提供了坚实的基础。本文对微电子材料的机械性能,微电子工艺在微机械制造中的应用进行了阐述。
【作 者】
:
张珂
王长昕
【机 构】
:
洛阳一拖公司,洛阳大学
【出 处】
:
上海微电子技术和应用
【发表日期】
:
1998年3期
【关键词】
:
微电子
微机械
硅
机械性能
MEMS
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微电子技术的飞速发展,为微机械系统的制造提供了坚实的基础。本文对微电子材料的机械性能,微电子工艺在微机械制造中的应用进行了阐述。
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