微电子技术在微机械制造中的应用

来源 :上海微电子技术和应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:baihuiguo
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微电子技术的飞速发展,为微机械系统的制造提供了坚实的基础。本文对微电子材料的机械性能,微电子工艺在微机械制造中的应用进行了阐述。
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