【摘 要】
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利用超声喷雾热解(USP)技术,以普通玻璃为衬底,制备了不同衬底温度下的系列ZnO薄膜。用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)研究了衬底温度对ZnO结构的影响。结果表明,薄膜的微观
【机 构】
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河北工业大学信息学院,南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光电信息技术科学教育部重点实验室,
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利用超声喷雾热解(USP)技术,以普通玻璃为衬底,制备了不同衬底温度下的系列ZnO薄膜。用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)研究了衬底温度对ZnO结构的影响。结果表明,薄膜的微观结构随衬底温度变化显著。在410℃获得了ZnO纳米棒,纳米棒直径在50 nm左右,沿c轴择优生长,结晶质量较好。
A series of ZnO thin films with different substrate temperature were prepared by using ordinary glass as substrate using ultrasonic spray pyrolysis (USP) technology. The effect of substrate temperature on the structure of ZnO was investigated by scanning electron microscopy (SEM) and X-ray diffraction (XRD). The results show that the microstructure of the film changes significantly with the substrate temperature. The ZnO nanorods were obtained at 410 ℃. The diameter of the nanorods was about 50 nm. The nanorods grew preferentially along the c axis and the crystal quality was good.
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