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为了研究不同沉积条件下TiCxN1-x（0≤x≤1）薄膜的相结构、显微硬度及摩擦性能的影响因素，用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪分析薄膜的形貌和相结构，用HXD1000数字式显微硬度计、MCMS-1摩擦磨损仪测试薄膜的硬度和摩擦系数。研究结果表明：TiN，TiC薄膜显示出〈111〉择优取向生长趋势，Ti（C，N）有较强的（200）取向，Ti（C，N）衍射峰涵盖了TiN峰和TiC峰，薄膜存在TiN和TiC两相共存．与TiN，TiC相比，Ti（C，N）薄膜具有更高硬度，当C原子含量x=0．582时，T