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这里介绍了炉室上升式 BS法单晶炉的设计思路及工作原理,结合晶体生长的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点.
炉室上升式BS法单晶炉的设计
【摘 要】
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这里介绍了炉室上升式 BS法单晶炉的设计思路及工作原理,结合晶体生长的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点.
【机 构】
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西安理工大学
【出 处】
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机械设计与制造
【发表日期】
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2005年6期
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