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本文首次报导以常压 MOCVD 法,用二甲基锌、硒化氢、硫化氢为源,在砷化镓衬底上外延生长 ZnSe/ZnS_XSe_(1-X) 应变层超晶格结构。讨论了气相组分对外延层组分的影响。用 X 射线衍射法和光荧光法鉴定了超晶格结构。
常压MOCVD法生长ZnSe／ZnSxSe1—x应变层超晶格
【摘 要】
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本文首次报导以常压 MOCVD 法,用二甲基锌、硒化氢、硫化氢为源,在砷化镓衬底上外延生长 ZnSe/ZnS_XSe_(1-X) 应变层超晶格结构。讨论了气相组分对外延层组分的影响。用 X 射
【机 构】
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中国科学院长春物理研究所,中国科学院长春物理研究所
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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1990年1期
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