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本文分析了微机电系统的研究内容以及发展趋势,希望能够对该项技术的研究提供一些借鉴.
微机电系统科学与技术发展趋势
【摘 要】
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本文分析了微机电系统的研究内容以及发展趋势,希望能够对该项技术的研究提供一些借鉴.
【机 构】
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新疆雪峰科技（集团）股份有限公司
【出 处】
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区域治理
【发表日期】
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2018年29期
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