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在诸多导航应用领域．最重要的需求并非是提高导航系统的精度／性能，而是在满足性能需求的前提下降低成本、减小体积。特别是小型导航传感器使得制导、导航、控制产品应用到以前认为不可能的应用场合的时候（如炮弹、制导弹药）。环形激光陀螺（RLG）、光纤陀螺（FOG）和微机电系统（MEMS）陀螺及加速度计这三大技术推动了导航技术在军事和商业领域的发展。环形激光陀螺和光纤陀螺已经成熟，但后者仍在持续发展，MEMS技术则是一个非常活跃的研发领域。本文对于这几方面的进展情况都将进行描述，重点放在MEMS传感器的设计和性能方面