【摘 要】
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铒镱共掺磷酸盐玻璃平面波导在散热和抑制非线性效应方面具有独特优势，可开发作为近红外1.5μm高平均功率固体激光器的增益介质，具有重要意义。本课题应用光胶热键合方法制备铒镱共掺磷酸盐玻璃平面波导，研究了预键合阶梯升温过程对键合质量的影响。通过电子探针表面分析（EPMA）得到键合温度和键合时间对键合界面分子扩散层厚度的影响，并根据Fick第二定律，探讨了一维等效假设下的芯层玻璃中的Yb3+扩散机理，建
【基金项目】
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国家自然科学基金（61875216）；
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铒镱共掺磷酸盐玻璃平面波导在散热和抑制非线性效应方面具有独特优势，可开发作为近红外1.5μm高平均功率固体激光器的增益介质，具有重要意义。本课题应用光胶热键合方法制备铒镱共掺磷酸盐玻璃平面波导，研究了预键合阶梯升温过程对键合质量的影响。通过电子探针表面分析（EPMA）得到键合温度和键合时间对键合界面分子扩散层厚度的影响，并根据Fick第二定律，探讨了一维等效假设下的芯层玻璃中的Yb3+扩散机理，建立了热键合过程中的固-固界面分子扩散模型。最终通过选择最优的热处理工艺参数，得到了键合质量良好且键合强度达到11.63MPa的芯层厚度为100μm的三明治结构平面波导。
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