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电子级多晶硅生产还原尾气中无定型硅去除工艺研究
电子级多晶硅生产还原尾气中无定型硅去除工艺研究
来源 :化工设计通讯 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jiaxing19871215
【摘 要】
:
对电子级多晶硅生产还原尾气中无定型硅产生原因进行分析,从还原炉工艺优化调整、尾气回收系统过滤除尘方面研究相对应无定型硅的去除工艺,可以有效降低无定型硅含量,进一步
【作 者】
:
李有斌
俞朝
陈叮琳
张才刚
【机 构】
:
青海黄河水电公司新能源分公司,青海省新能源材料与储能技术重点实验室
【出 处】
:
化工设计通讯
【发表日期】
:
2021年1期
【关键词】
:
电子级多晶硅
无定型硅
过滤器
electronic grade polysilicon
amorphous silicon
filter
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对电子级多晶硅生产还原尾气中无定型硅产生原因进行分析,从还原炉工艺优化调整、尾气回收系统过滤除尘方面研究相对应无定型硅的去除工艺,可以有效降低无定型硅含量,进一步提高循环氢气质量,有助于提升电子级多晶硅产品质量。
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