电子级多晶硅生产还原尾气中无定型硅去除工艺研究

来源 :化工设计通讯 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jiaxing19871215
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
对电子级多晶硅生产还原尾气中无定型硅产生原因进行分析,从还原炉工艺优化调整、尾气回收系统过滤除尘方面研究相对应无定型硅的去除工艺,可以有效降低无定型硅含量,进一步提高循环氢气质量,有助于提升电子级多晶硅产品质量。
其他文献
本文结合建筑物隐框玻璃幕墙屋面工程,对建筑物的雷电危害及防雷措施进行分析,并阐述隐框玻璃屋面防雷措施及接地做法。
介绍了我国核与辐射事件医学应急管理体系的构成,并将之与日本、美国、法国、俄罗斯和加拿大的核与辐射事件医学应急管理体系进行比较,分析其优缺点,同时介绍了WHO和IAEA在核
在社会快速发展的形势下,各个领域都得到了良好的发展壮大,电磁干扰其实质就是因为电器设备在实际运行过程中,所形成的磁场所导致的相互干扰或者是自我干扰的情况。近年来,我
【正】 任何系统都既是由相互联系、相互作用的若干组成部分结合而成的整体,即关系的集合体;同时又是各种状态有秩序地演变的联合体,即过程的集合体。因此,系统的优化也必然
【正】 本文拟从哲学史的角度,探讨唯物辩证法的有关问题,并就所谓的现代形式作一些初步的设想。一《周易》、《老子》等典籍中所阐发的阴阳学说,在中国哲学思想史上确有其特
北京秋季出版物交流会在2004年9月15日已落下帷幕,来自全国各地的600余家民营书商、图书发行单位和部分出版社参加了订货会。在现场,感觉依然是经管类、励志类和财经类图书的大
【正】 汉口是近代中国著名茶市,英俄二国为最大买主。19世纪90年代以后,俄商取代英商垄断汉口茶市,成为华茶最大销纳国。研究汉口茶出口,不能不首先理清对俄贸易的有关问题
高校一直是意识形态教育的"主战场",意识形态工作更关乎党的"生命线"。不断加强大学生意识形态教育力度,提升意识形态教育效果,不仅是培养中国特色社会主义事业建设者和接班
正如企鹅新加坡分公司的爱迪所言,法兰克福仍是我们图书贸易的“麦加”。即使已经到了信息时代,大多数人还是有同感。虽然法兰克福第八展厅表现的不很热闹,但国际图书贸易业一致