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对TiAlON薄膜的制备技术、组织结构及特性进行了综述，指出了膜层的性能优化方法与途径，展望了膜层未来的应用方向。
TiAlON膜的研究现状与进展
【摘 要】
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对TiAlON薄膜的制备技术、组织结构及特性进行了综述，指出了膜层的性能优化方法与途径，展望了膜层未来的应用方向。
【机 构】
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沈阳大学机械工程学院
【出 处】
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材料保护
【发表日期】
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2014年12期
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