GaSb和InAs单晶衬底的晶格完整性

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zx350220519

【摘要】

：

通过X线衍射分析和位错腐蚀,发现在GaSb(100)晶片的中心区域容易形成呈枝蔓状分布的高密度位错聚集区,这些位错引起严重的晶格畸变.通过分析晶体生长条件,证明生长过程中产生

【作者】

：

吕小红赵有文孙文荣董志远

【机构】

：

中国科学院半导体研究所

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2007年z1期

【关键词】

：

CaSb INAS 单晶晶格缺陷

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

通过X线衍射分析和位错腐蚀,发现在GaSb(100)晶片的中心区域容易形成呈枝蔓状分布的高密度位错聚集区,这些位错引起严重的晶格畸变.通过分析晶体生长条件,证明生长过程中产生的大的温度过冷造成了晶体中心区域的枝蔓生长,产生大量位错.富As条件下生长的InAs单晶中产生大量与As过量有关的晶格缺陷,明显降低了晶体的完整性.

其他文献

企业智慧能源管控系统架构设计与探讨

根据冶金企业智慧能源的应用要求,结合其他行业的研究成果,提出了基于能源路径的多能源介质、多目标、多模态的优化导航技术及系统方案,并对其关键技术进行了研究和分析。以

期刊

流程网络流程模型网络拓扑供需平衡管网仿真智慧能源flow networkflow modelnetwork topologysmart energy

蓄热式燃烧器系统在冶金加热炉中的应用

介绍了新型蓄热式燃烧器的工作原理、特点及其PLC燃烧电气控制系统,结合在锡冶金企业生产应用实践,针对运行中出现的有关故障类型给出了相应的排除方法,并对存在的问题提出了

期刊

蓄热式燃烧器PLC电气控制故障处理节能减排regenerative burnerPLC controltroubleshootingenergy sav

化学改性废塑料制备水泥助磨剂的研究及应用

用废聚苯乙烯塑料通过磺化改性合成了具有水溶性的磺化聚苯乙烯系列产品;通过实验研究了反应温度、反应时间和磺化剂及用量等对改性产物性能的影响,并确定了羧基化改性条件中

期刊

废塑料聚苯乙烯磺化助磨剂waste plasticspolystyrenesulfonatedgrinding aids

筒型基础安装过程中筒内土塞生成的可视化模拟计算

筒型基础安装过程中，筒内的负压作用会导致土塞现象的出现。以试验模型为基础建立可变形离散元计算模型，通过VC＋＋编制的程序SPSAⅡ对筒型基础负压沉贯中土塞的生成过程进行可视化

期刊

筒型基础土塞可变形离散单元法bucket foundation soil plug DDEM （deformable discrete element m

劳动力转移对农业经营体制市场化影响研究

随着我国农业人口向城市持续转移,农地流转也不断增加。这两个农村重要经济条件的变化,对我国农业经营体制有重要影响,推动农业经营体制向市场化不断转变。重点分析了劳动力

期刊

劳动力转移农业经营体制市场化transfer of labor agricultural management system marcket

民族地区城市社区中老年居民生活的困境、社区工作中存在的问题及对策

随着我国人口老龄化程度的不断提高,各社区的高龄老人、空巢老人、"三无老人"和退休人员也越来越多,这些中老年居民已逐渐成为社会中的一个弱势群体。他们的生活现状不仅与社

期刊

中老年居民生活困境社区工作问题对策Middle-aged and elderly residentsPredicamentCommunity work

改革开放以来中国共产党党内监督的几个发展阶段

党内监督主要是指党为保证人民赋予的权力能规范化运行，依照党纪党法及国家的宪法和法律在党员之间、党组织之间、党员和党组织之间通过评价、揭露、纠偏等方式开展的民主的监察和督促活动。在开展党内监督的过程中，把各级领导机关和领导干部，特别是各级领导班子主要负责人作为监督的重点对象，是健全和完善党内监督机制的关键所在。　　党的十一届三中全会以前整个党内监督制度的基本特点都是以权力高度集中的组织领导制度为基础

期刊

党内监督机制中国共产党改革开放规范化运行主要负责人领导干部领导机关领导班子

甚长波量子阱红外探测器光耦合性能

从实验、测试和计算结果出发,运用有限时域差分法（FDTD）和传统的模式扩展（MEM）理论,研究甚长波量子阱红外探测器（QWIP）几种衍射光耦合的表面近场效应和光耦合效率,重点考察QWIP 45&

期刊

量子阱红外探测器光耦合2D光栅响应率探测率QWIP diffraction coupling 2D grating responsivity dete

宁夏农村经纪人自身素质问题研究

近年来农产品流通不畅成为制约宁夏农村经济发展的一大瓶颈。而随着农村经纪人队伍的发展壮大,在搞活农产品市场流通,促进农业增效、农民增收,推动农村经济发展方面发挥了积

期刊

农村经纪人素质问题

北京市人民政府办公厅关于印发缓解北京市区交通拥堵第六阶段(2009年)工作方案的通知

【正】京政办发[2009]25号各区、县人民政府,市政府各委、办、局,各市属机构:《缓解北京市区交通拥堵第六阶段(2009年)工作方案》已经市政府会议讨论通过,现印发给你们,请认

期刊

政府会议蜜勺公交线网轨道交通运营快速公交城市主干路城乡一体化公交站点地面公交组织落

GaSb和InAs单晶衬底的晶格完整性

与本文相关的学术论文