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采用水热法制备出垂直于ITO基底生长的高密度的Mn掺杂ZnO纳米棒阵列。测试阵列的微观结构和磁性。XPS证实Mn已经成功的掺入到纳米棒中。调时，所有的Mn掺杂的ZnO纳米棒在室温都有铁磁性。而且饱和磁化强度随掺杂浓度的增加先增大后减小。5％Mn掺杂的zn0纳米棒阵列的饱和磁化强度最大。铁磁性可能来源于Mn离子部分取代zn离子，Mn离子之间的铁磁相互作用。