【摘 要】
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用isp可编程逻辑器件设计和研制了一种器件少、可靠性高、实用性强的镀膜程控器,介绍了其设计思路、硬件原理及isp可编程逻辑器件的使用技术。该程控器不仅可用于镀膜程控,也可用于恶
【机 构】
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浙江大学,上海莱迪思半导体有限公司
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用isp可编程逻辑器件设计和研制了一种器件少、可靠性高、实用性强的镀膜程控器,介绍了其设计思路、硬件原理及isp可编程逻辑器件的使用技术。该程控器不仅可用于镀膜程控,也可用于恶劣环境下的其它工业程序控制。
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