【摘 要】
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分别用磁控溅射、脉冲直流和射频等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)技术得到了TiN、Ti-Si-N、Ti-B-N及Ti-C-N纳米复合超硬薄膜.用球盘式摩擦磨损试验考察了各种薄膜的磨损特性.
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分别用磁控溅射、脉冲直流和射频等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)技术得到了TiN、Ti-Si-N、Ti-B-N及Ti-C-N纳米复合超硬薄膜.用球盘式摩擦磨损试验考察了各种薄膜的磨损特性.结果表明此类纳米复合超硬薄膜的抗磨损性能比单纯的TiN薄膜有显著提高,但复合薄膜的室温摩擦因数较高,高温下摩擦因数也仅有轻微降低,可能由于表层生成减摩氧化层所致.特别对于Ti-Si-N薄膜,随薄膜中Si含量的上升,其耐磨损性能有所下降.
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