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微光机电系统:路在何方
微光机电系统:路在何方
来源 :通讯世界 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yjq123wlz
【摘 要】
:
在目前成熟的IC技术的辅佐下,微机电系统(MEMS)产品的尺度可控制在毫米到微米量级范围内,并可进行大规模生产,这无疑为产品的小型化、低成本带来巨大的发展空间.
【作 者】
:
张娟娜
【出 处】
:
通讯世界
【发表日期】
:
2003年9期
【关键词】
:
微光机电系统
MEMS
光交叉连接器
RF开关
可变衰减器
全光交换系统
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在目前成熟的IC技术的辅佐下,微机电系统(MEMS)产品的尺度可控制在毫米到微米量级范围内,并可进行大规模生产,这无疑为产品的小型化、低成本带来巨大的发展空间.
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