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微机械谐振式加速度计的输出频率信号不易受到环境噪声的干扰，在传输和处理过程中也不易出现误差。针对实验室加工的谐振式微机械加速度传感器，采用静电激励和电容拾振的检测方式，设计了电容拾振检测电路和差频输出电路，实现了谐振式加速度计的微弱差频信号检测。利用精密分度盘对该加速度传感器进行了性能测试，实验室测试灵敏度为25．7Hz／g。达到了设计要求。