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２０００年的半导体技术１制造技术规模，将持续发展．到２０００年将获得１Ｇｂｉｔ１Ｃ样品（线宽０１５－２０μｍ）；探明线条（Ｃｕｒｖｅ）密度、性能、可靠性和成本极限；２．设计技术：容量和生产率将按比例上升．到２０００年，单个芯片系统上可集成１００Ｍ个晶...
2000年的半导体技术
【摘 要】
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２０００年的半导体技术１制造技术规模，将持续发展．到２０００年将获得１Ｇｂｉｔ１Ｃ样品（线宽０１５－２０μｍ）；探明线条（Ｃｕｒｖｅ）密度、性能、可靠性和成本极限；２．设计技术：容量和生产率将按比例上升．到２０００年，单个芯片系统上可集成１００Ｍ个晶...
【出 处】
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航空精密制造技术
【发表日期】
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1995年3期
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