【摘 要】
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常压辉光放电(APGD)是具有较高电子能量的非平衡等离子体,比低压辉光放电更易于实现工业化应用.比较了几种获得常压辉光放电的实验方案,基于对常压辉光放电等离子体基本物化
【机 构】
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华中科技大学脉冲功率研究与发展中心
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常压辉光放电(APGD)是具有较高电子能量的非平衡等离子体,比低压辉光放电更易于实现工业化应用.比较了几种获得常压辉光放电的实验方案,基于对常压辉光放电等离子体基本物化特性的深入了解,探讨了各种等离子体气氛对于绝缘介质薄膜电气及化学特性的作用(比如憎水性、表面位能等),并将之用于绝缘介质薄膜的表面处理中,对于薄膜性质的改善起到了较好的作用,对常压辉光放电等离子体的应用作了有益的尝试.
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