【摘 要】
：
对超薄栅氧PMOS器件衬底热空穴（SHH）应力下SILC（应力感应泄漏电流）特性和机理进行研究。研究结果表明：在SHH应力下,栅电流在开始阶段减小,这是正电荷在氧化层中积累的结果;随后栅
论文部分内容阅读
对超薄栅氧PMOS器件衬底热空穴（SHH）应力下SILC（应力感应泄漏电流）特性和机理进行研究。研究结果表明：在SHH应力下,栅电流在开始阶段减小,这是正电荷在氧化层中积累的结果;随后栅电流慢慢地增加,最后,当在氧化层中积累的正电荷密度达到一个临界值时,栅上漏电流迅速跳变到较大数量级上,说明器件被击穿;当注入空穴通过Si—O网络时,随着注入空穴流的增加,化学键断裂的概率增加;当1个Si原子的2个Si—O键同时断裂时,将会导致Si—O网络不可恢复;Si—O键断裂导致氧化层网络结构发生改变和损伤积累,最终导致
其他文献
采用已内酰胺与对甲基苯磺酸制备一种离子液体（CP-ptsa）,并用核磁共振氢谱对该离子液体进行表征。以该离子液体作催化剂,在微波辅助条件下研究用葡萄糖与正辛醇合成辛基糖苷的
摘 要 通过对现行高校教师教学质量评价方法的归纳和分析，对其存在的不足进行总结，提出一种基于后验信息的教学质量评价方法，作为现行教学质量评价方法的补充，以期对高校教师的教学质量做出更加客观、公正的评价。 关键词 后验信息；教学质量；评价方法 中图分类号：G40-058.1 文献标识码：A 文章编号：1671-489X（2015）12-0015-03 A Shallow Research t
本文首先就茶文学进行了简要阐述,接着对茶文学中的思政教育功能进行了归纳和说明,最后在此基础上就高校思政教育与茶文学的多元衔接提出了具体策略,希望以此推动国内高校思
借鉴软件能力成熟度模型（CMM）,构建了化工物流业成熟度模型（CL-CMM）。将物流企业成熟度分为初始期、成长期、成熟期、成熟巩固期、成熟创新期;从分析各个等级的关键过程,为化工物