【摘 要】
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同PN结一样,金属与半导体接触构成的MS结也具有势垒电容,其大小与半导体的电阻率和加在结上的电压密切相关.根据结的容压特性,可以得到半导体中杂质浓度及其分布以及接触电势
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同PN结一样,金属与半导体接触构成的MS结也具有势垒电容,其大小与半导体的电阻率和加在结上的电压密切相关.根据结的容压特性,可以得到半导体中杂质浓度及其分布以及接触电势差等信息.给MS结加上一定的直流反向电压V,利用CV测试仪、Q表或高频
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