【摘 要】
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应用微机电系统（MEMS）开关设计了一款基片集成波导（SIW）可调滤波器。该滤波器整体尺寸为40mm×57 mm×0.708 mm,调节范围4.96～5.78 GHz,滤波器由两层介质基片构成,上层介
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应用微机电系统（MEMS）开关设计了一款基片集成波导（SIW）可调滤波器。该滤波器整体尺寸为40mm×57 mm×0.708 mm,调节范围4.96～5.78 GHz,滤波器由两层介质基片构成,上层介质为FR4_expoy,下层介质为Rogers RT/Duriod 5880。通过HFSS仿真,结果表明,该滤波器插入损耗不大于0.5 d B,回波损耗不大于–15 d B。
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