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早在1874年人们就发现某些气体放电的同时,往往伴生有少量的有机固态沉积物的生成[1],但直到70年代末,人们才真正开始对等离子体(plasma)进行详细研究.等离子体是物质固、液、气三态以外的第四态,是一种全部或部分电离了的气体,其中包括有离子、电子和各种中性粒子(常常是自由基),具有极高的化学反应活性.