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本文阐述了高纯水、高纯气和高纯化学试剂的质量对兆位电路的影响,研究了高纯水中颗粒、金属、非金属、细菌以及总有机炭对VLSI性能的影响,研究了半导体器件工艺中氯化氢、氨、氮及硅烷气体中氧、水、二氧化碳、总碳氢化物等杂质对VLSI工艺的影响;研究了化学试剂中杂质对VLSI工艺的影响。
兆位电路用高纯水、气和化学试剂的质量控制
【摘 要】
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本文阐述了高纯水、高纯气和高纯化学试剂的质量对兆位电路的影响,研究了高纯水中颗粒、金属、非金属、细菌以及总有机炭对VLSI性能的影响,研究了半导体器件工艺中氯化氢、氨
【机 构】
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中国科学院半导体研究所北京100083
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1993年5期
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