【摘 要】
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本文重点介绍了在真空腔内需要进行三维杆件的密封结构设计以及对该结构进行真空密封性能测试。利用焊接波纹管作为密封可动调节介质,并使用O形橡胶圈作为与腔体和杆件的密封
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本文重点介绍了在真空腔内需要进行三维杆件的密封结构设计以及对该结构进行真空密封性能测试。利用焊接波纹管作为密封可动调节介质,并使用O形橡胶圈作为与腔体和杆件的密封材料,在大气压至1.0×10-6Pa之间具有良好的密封效果,和调节性能。
This article focuses on the need to design the seal structure of a three-dimensional bar in a vacuum chamber and to test the vacuum-tightness of the structure. The use of a welded bellows as a sealing movable adjusting medium and the use of an O-ring as a sealing material for cavities and rods has a good sealing effect between atmospheric pressure and 1.0 × 10 -6 Pa, and the regulating performance.
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