微系统制造中的3维微成形技术

来源 :南京理工大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kizanliu

【摘要】

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该文提出了微系统的定义,指出了它区别于宏系统、微电子系统的特点及这些特点对微成形技术的影响.分析了作为现阶段微系统主流制造技术的微电子IC工艺的优缺点;评述了LIGA、D

【作者】

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董涛章维一侯丽雅

【机构】

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南京理工大学制造工程学院,机械学院

【出处】

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南京理工大学学报：自然科学版

【发表日期】

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2001年3期

【关键词】

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微小机械制造工艺立体造型 micro mechanics manufacture technics 3D fabrication

【基金项目】

：

国家高技术研究发展计划(863计划)，四开科技发展基金

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该文提出了微系统的定义,指出了它区别于宏系统、微电子系统的特点及这些特点对微成形技术的影响.分析了作为现阶段微系统主流制造技术的微电子IC工艺的优缺点;评述了LIGA、DRIE、微浮雕、RPM 4种3维微成形法;指出了如何将其组合以适应微光学系统、微流体系统、微机构等商品化的配套需要;提出了微系统中值得研究的若干课题群.

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