长波双色AlxGa1-xAs/GaAs量子阱红外探测器的研制

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【摘要】

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介绍了长波双色AlxGa1-xAs/GaAs多量子阱红外探测器单元的设计、制作和测试。器件光敏面面积为300μm×300μm,光吸收峰值波长分别为10.8、11.6μm;采用垂直入射光耦合的

【作者】

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齐利芳李献杰赵永林尹顺政蔡道民李宁甄红楼熊大元

【机构】

：

中国电子科技集团公司第十三研究所,中国科学院上海技术物理研究所

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

：

2009年7期

【关键词】

：

量子阱红外探测器双色双周期光栅长波 quantum well infrared photo-detector two-color bi-period g

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介绍了长波双色AlxGa1-xAs/GaAs多量子阱红外探测器单元的设计、制作和测试。器件光敏面面积为300μm×300μm,光吸收峰值波长分别为10.8、11.6μm;采用垂直入射光耦合的工作模式,65K温度2V偏压下,两个多量子阱区的暗电流分别为4.23×10^-6、4.19×10^-6A;黑体探测率分别为1.5×10^9、6.7×10^9cm.Hz^1/2/W;响应率分别为0.063、0.282A/W。GaAs基量子阱红外探测器（QWIP）材料生长和

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